史振琦，黄晓玲，刘 涛

(金堆城钼业股份有限公司，陕西 西安 710077)

0 引 言

由于钼的强度高、导热导电性能良好，而且具有与硅相近的膨胀系数，故被用作硅整流元件和可控硅元件的基片材料(硅片的支撑体——钼圆片)[1]。在实际生产过程中，钼圆片表面常出现有不规则白斑(工业上称雪花斑)、规则白斑(工业上称鱼鳞斑)、花岗岩样白斑(工业上称花岗岩斑)等斑类缺陷(见图1)。其中行业内公认的鱼鳞斑、花岗岩斑均为开坯温度过高，使得晶粒在高温下过度长大而形成此类斑纹[2]。而雪花斑的形成原因，一直以来未有定论：有研究表明是研磨剂Al2O3的刮伤所致[3]，也有研究表明是钼粉中的Fe、O、Ni等杂质过高导致的[4]，还有研究表明是加工工艺导致的一种疏松状组织[5]。因此本文通过对钼粉、钼烧结制品、钼圆片进行微观组织结构分析，研究钼圆片雪花斑形成的实质原因。

1 实验方法

实验选取标准为GB/T 3461-2016牌号为Mo-1的75 μm筛下钼粉以及对该Mo-1钼粉进行超声振动45 μm筛下和筛上钼粉作为研究对象，按照粉末冶金的方式，经冷等静压机压制成型，中频炉烧结成钼板坯样品，再经过四辊轧机轧制开坯，冲压、研磨等工序加工成钼圆片。

实验设备采用电子扫描电镜，通过对Mo-1牌号的75 μm筛下钼粉、超声振动45 μm筛下和筛上钼粉，进行SEM分析，观察粉末团聚情况；然后，通过对比3种钼粉制备的烧结钼板坯的电镜照片，研究粉末团聚对烧结制品的影响；最后，对比3种烧结钼板坯制备钼圆片的表面及纵断面电镜照片，研究雪花斑钼圆片斑纹的形成原因。……