王宪楠 刘钦臣

摘 要：对于每一个行业来说，在测量地质水文情况时，湿度都是一个重要的物理量，在许多条件下必须对环境的湿度进行测量。随着我国科技水平的不断发展，与现代化意义相适应的湿度传感器技术已经发展到较为成熟的水平。本文主要从测量原理的角度出发，详细地介绍并总结了光电湿度传感器及其应用的方法，并阐述了湿度传感器未来发展的主要方向。

关键词：湿度传感器；光纤光栅；薄膜；光纤传感器；平面波导

引言：

现阶段，低温条件下的湿度测量技术已经达到了非常成熟的水平，被广泛地应用于医疗、仓储、食品、纺织等各个行业，并有着成熟的商业化商品。相对一些高新行业而言，比如：发电变电、工业管道、高炉、航空航天、陶瓷生产等等，对湿度测量的要求较高，因此，需要发展新型的湿度传感器以适应恶劣条件下的精确测量。

一、湿度的概念

湿度是指空气的干湿程度，常被用来表示各种物理量，例如：绝对湿度、相对湿度、比较速度、饱和差等。另外，蒸汽的湿度也包括在内，其表示湿蒸气中液态水分的质量占蒸汽总质量的百分比。一般条件下，在同一个大气压下空气温度越高，其湿度的极限值就越大。

（一）绝对湿度

绝对湿度是指在一定体积的空气中含有水蒸气的质量，它的单位是克每立方米，当绝对湿度达到饱和状态时则称为最高湿度。

（二）相对湿度

相对湿度表示在一定大气压强的水蒸气的饱和度，是绝对湿度和最高湿度的比值。……