基于X射线衍射仪的二维转鼓激光测角装置开发

2018-07-21

制造业自动化 2018年7期

关键词：测量

（长春理工大学机电工程学院，长春 130022）

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光学转鼓广泛应用于扫描检测、红外成像等领域，一般扫描检测用的转鼓多为一维塑性金属反射转鼓[1～3]，而红外成像用的转鼓多为二维红外晶体折射转鼓[4]。根据应用需求对转鼓各表面之间的角度偏差要求较高，一般在超精密机床上采用超精密飞切的方法来实现[1～4]。加工后为了检验其合格性，常采用光电自准直仪进行一维转鼓和二维转鼓的角度误差测量[5,6]。一维转鼓的角度误差检测技术相对容易，但是对于二维转鼓来说，检测技术相对复杂。在识别转鼓结合表面和晶体晶面偏角之间的关系可以采用X射线衍射定向仪来进行[7]。而在角度误差测量方面，2016年昆明物理研究所的王乔方等人[6]为了改变六面折射转鼓测试系统中目视读数误差大，测量效率低的问题，提出了一种结合高精度光电自准直仪和一维光学分度头测量六面折射转鼓角度误差的方法，但是该方法在具体测量过程中需要增加平晶和五棱镜的基准标定步骤。

为了实现加工过程中二维转鼓各角度的准确检测，有效保证出厂质量。本文基于X射线衍射仪的三维转角测量系统开发了一套二维转鼓各表面角度误差测量装置，经过激光测角仪在探测器位置上的替换安装既可以实现二维转鼓的角度误差的一次性测量，这对于研究在位和固定基准条件下的二维转鼓晶体结构和转角的统一测量具有重要意义。