(长春理工大学电子信息工程学院，长春 130022)

原子力显微镜控制参数对光栅清晰度的影响

王盼(长春理工大学电子信息工程学院，长春 130022)

原子力显微镜的发明是固体材料成像技术一次重大的飞跃，通过使用原子力显微镜对样品表面扫描成像，能够获得真实的三维图像[1]，在扫描图像时需要设置好每个参数，不同的参数对原子力显微镜的成像会产生不同的影响。主要探究了积分增益以及比例增益对原子力显微镜成像光栅清晰度的影响，以图像中心距(ACM)清晰度算法和点锐度清晰度(EAV)算法作为评价的标准。实验表明，积分增益和比例增益越大，系统噪声会不断增加，相应的图像会变得越不清晰，最终保持不变。

原子力显微镜 积分增益 比例增益

近年来，人们对世界的认识不断加深，已经由传统的宏观世界转移到并不熟悉的微观世界，许多国家已经开始对微观世界的事物进行深入的研究，原子力显微镜的发展为人们提供了有力的工具。原子力显微镜是近几十年来表面成像技术中最重要的进展之一，因其具有超高三维分辨，非接触无损成像，显微倍率连续可调等特点，被誉为是目前国际显微科学的重大突破和现代表面分析技术的革命性进展[2-4]。虽然 AFM 的最大分辨率可以达到原子级，但是传统的原子力显微镜操作非常的复杂，传统的原子力显微镜都是基于PI控制算法进行成像的[5]，在扫描时需要有经验的操作人员选择合……