(1.南京腾元软磁有限公司，南京急冷材料工程技术研究中心，南京211300；2.江苏非晶电气有限公司，泰州225500；3.中国科学院物理研究所，北京凝聚态物理国家实验室，北京100190)

透射电镜样品制备的表面损伤和观察方法

王岩国1,2,3丁力栋1,2顾建伟1,2闫征1,2胡民培1,2

(1.南京腾元软磁有限公司，南京急冷材料工程技术研究中心，南京211300；2.江苏非晶电气有限公司，泰州225500；3.中国科学院物理研究所，北京凝聚态物理国家实验室，北京100190)

由于电子与物质的强相互作用，从电子枪发出的2X107电子伏特的高能电子束能穿透的材料厚度也只有约300纳米，因此样品必须非常薄才适合使用透射电子显微镜进行观测。要制备非常薄的透射电镜样品需要经过包括机械研磨和离子溅射等一系列的减薄过程，这些过程均会对样品表面造成一定程度的损伤。表面损伤会影响对样品真实微结构的观测和表征，因此了解样品制备过程中样品表面的损伤情况对于材料微结构研究具有重要意义。本文介绍了如何利用透射电镜观察样品表面损伤的成像方法、实验技巧和操作技术的细节。利用透射电镜的不同成像衬度模式能够在样品的同一视场中观察到包括样品表面损伤的材料结构细节，可以在多层次和不同尺度上获得更丰富的微结构信息。

电子显微学 样品制备 表面损伤 表面观察 离子溅射

1 引言

材料的结构，特别是微结构是实现其功能的载体。利用材料微结构的变化实现材料多种性能的优化已成为目前材料研究领域的热点。……