(1.江苏苏净集团有限公司，苏州 215122；2.苏州苏净仪器自控设备有限公司，苏州 215122)

仪器研制与改进

基于光学散射原理的液体颗粒计数器的研制

胡增1陈建2周大农1孙吉勇1

(1.江苏苏净集团有限公司，苏州 215122；2.苏州苏净仪器自控设备有限公司，苏州 215122)

开发了一种基于光学散射原理的液体颗粒计数器，分析了光学检测传感器的检测原理。设计了液体颗粒计数器系统的各个功能模块，进行了加工制作和装配；研制了一台完整的液体颗粒计数器，并进行了测试和分析。实验结果表明该仪器可以检测到纯水中0.5微米的乳胶球颗粒，研制出了国内首台商用化的亚微米液体颗粒计数器。

光散射 液体颗粒计数器 亚微米颗粒

1 引言

液体颗粒计数器是一种用于检测液体介质中微小颗粒的大小分布和数量的仪器。它在生物制药，医疗器械、油液清洁度测量、半导体制造和过滤器检测等领域有着广泛的应用。液体中微小颗粒的检测方法主要包括显微镜计数法、库尔特法[1]和光学计数法[2]。光学计数法是目前使用最广泛的液体颗粒计数检测方法。

光学计数法利用微小颗粒对光的散射原理进行测量，如图1所示。当一束强度为I的光照射到微小颗粒的表面时，产生光散射效应。经过散射之后，一部分光It沿着原来的方向继续传播；另一部分光是由微小颗粒产生的散射光Is。Is的空间光强分布满足米散射或者瑞利散射的原理。由理论分析可知[3]，It和Is光强与颗粒的大小有关，通过It或者Is光强的变化可以求出微小颗粒的大小。……