王 婷,赵 云,孙文卿,王 军,吴泉英

(苏州科技大学 数理学院 江苏省微纳热流技术与能源应用重点实验室，江苏 苏州 215009)

移相干涉仪的改进方法与实现

王 婷,赵 云,孙文卿,王 军,吴泉英

(苏州科技大学 数理学院 江苏省微纳热流技术与能源应用重点实验室，江苏 苏州 215009)

通过安装视频采集软件，从监视窗口记录相移过程. 再从捕获视频中选出一组相移干涉图，经过相位计算，可得到波面分布. 介绍了数据处理流程，编写了相关程序. 将本方法与Zygo干涉仪MetroPro的计算结果进行了比较，φp和φRMS偏差分别为0.005λ和小于0.001λ.Zernike多项式拟合结果也验证了该方法的准确性和有效性.

移相干涉；视频采集；Zernike多项式拟合

干涉测量技术作为高精度、非接触式测量手段，随着电子技术的发展，移相干涉术取得了长足的进步，使得干涉测量精度大幅度提高[1]. 目前，众多高校以及科研院所的实验室都配备了移相干涉仪用于光学元件的面形检测[2-3]. 然而，大多数商用的干涉仪都只能给出最终的测量结果，而无法保存测量过程中得到的移相干涉图，给广大教师和科研人员的研究和分析带来了诸多不便.

为了解决这个问题，有些实验室将现有仪器的移相和图像采集装置替换成自行设计的部件[4]. 但该方法成本高、难度大、容易损坏仪器、经过改装过的仪器测量结果无法与原结果对比且该过程需要较高的装调经验和技巧，不适合大多数单位使用. 为了解决上述问题，本文提出了一种……