周天丰，解加庆，梁志强，刘 欣，刘晓华，王西彬

(北京理工大学 机械与车辆学院 先进加工技术国防重点学科实验室，北京 100081)

光学微透镜阵列模压成形研究进展与展望

周天丰，解加庆，梁志强*，刘 欣，刘晓华，王西彬

(北京理工大学 机械与车辆学院 先进加工技术国防重点学科实验室，北京 100081)

光学微透镜阵列在光学系统中的应用广泛，需求量大，而玻璃模压成形技术是最高效的微透镜阵列量产加工方法，具有精度高，一致性好，生产成本低等特点，有重要的应用研究价值。本文介绍了光学微透镜阵列的设计原理，模具制造技术，模压成形技术及相应检测技术；重点介绍了微透镜阵列模压成形试验与有限元仿真研究的最新进展；最后对微透镜模压成形发展前景进行了展望，包括微透镜阵列模压材料，模具表面镀层技术及超声复合加工技术在微透镜阵列模压成形中的应用等。

微透镜阵列；玻璃模压成形；低熔点光学玻璃；有限元仿真；表面镀层技术

1 引 言

光学微透镜阵列是指一定数量微纳尺度的球面或自由曲面透镜的排列组合，因其特殊的几何特征，而具有多种光学功能，可在红外、可见光、紫外(UV)/极紫外(EUV)乃至X射线波段对光波的物理特性进行调控和利用，以实现传统光学元件难以完成的功能，在现代光学技术发展中具有重要应用价值。微透镜阵列的周期尺寸一般为500 nm～50 μm，根据其排布不同，又可分为邻接式微透镜阵列和分布式微透镜阵列。……