摘 要：在航天、激光、光电子等高技术领域，对光学元器件的精度要求越来越高，建造高精度环境（温湿度、洁净度、抗微振）条件要求的实验室是光学元件研制、加工和检测技术基础保障。

关键词：高精度；环境条件；实现方法

Laboratory methods of the construction of high-precision environmental conditions

He Wen-kui

Abstract： In the high-tech fields such as aerospace， laser， optoelectronics， precision optical components requirements increasingly high， the construction of a high-precision environment （temperature and humidity， cleanliness， anti-the micro vibration） conditions required laboratory optical components developedprocessing and testing technology basis for protection.

Key words： high accuracy； environmental conditions； method

1.引言

伴隨二十一世纪高科技的发展，尤其是航天、激光、光电子技术等方面日新月异的快速发展，对光学元器件的精度要求越来越高，而高精度、大尺寸的光学元器件研制、生产、加工、检测又需要在极高精密控制的环境（温度、湿度、洁净度和抗微振）条件下才能完成。因此，建造高精度环境条件要求的实验室是光学元件研制、加工和检测技术基础保障。

2.实验室环境条件

本实验室主要是围绕关键区域的百级净化和高精度温度环境的实现，关键温控区域65㎡，净空3500㎜，为卧式激光干涉仪检测设备使用环境。关键温控区域四周的净化空调区域为温控辅助区域，辅助区域利用原有空调净化系统改造而成（空间受限），同时要求，辅助区域温度控制精度为静态情况下21±0.5℃。

2.1关键温控区域内环境条件要求

（1）温度控制精度为：静态情况下21±0.04℃（设备不通电工作状态），激光干涉仪通电情况下22±0.05℃（房间内无人员），在激光干涉仪不通电时）关键区域任意两点间温差不超过0.05℃/400mm，在激光干涉仪通电状态下，关键区域任意两点（测试点不包括热源正下方，并距离热源500MM以上）距离任何热源间温差不超过0.06℃/400mm，控制的基础温度为21±0.1℃；

（2）湿度： ≤55% RH无凝露；

（3）洁净度：优于5级；

（4）气压稳定性：±10Pa/15分钟（与室外压差值）；……