赵学峰,崔建利,高 飞,张志东,闫树斌*

(1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051;2.陆军西安军事代表局驻咸阳地区军事代表室,陕西 咸阳 712000)



基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究*

赵学峰1,崔建利1,高 飞2,张志东1,闫树斌1*

(1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051;2.陆军西安军事代表局驻咸阳地区军事代表室,陕西 咸阳 712000)

提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有“V”型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器。针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98% kPa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。

柔性压力传感器;“V”型平行板电极;MEMS;PDMS

传感技术是现今社会测量、测控和智能自动化系统的重要功能单元之一,传感技术的研究与发展成为了每个国家十分重视的发展领域[1-3]。近年来,柔性电子技术以其巨大的性能优势与快速的发展速度在世界范围内掀起一场技术革命[4-5]。柔性传感器的研究也成为研究人员面临的新挑战、新领域[6]。

从国内外对柔性传感器的最新研究来看主要为柔性压力传感器的研究,常用的柔性衬底材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂PET(Poly Ethylene Terephthalate)、聚偏氟……