唐明津，陈伟，陈新

（英飞凌（无锡）科技有限公司，江苏无锡214028）

长寿命抗干扰测试针在SOT363半导体高频器件测量中的应用

唐明津，陈伟，陈新

（英飞凌（无锡）科技有限公司，江苏无锡214028）

在半导体器件生产企业中，使用测试针接触器件的引脚进行电参数测量，必须考虑两个问题。一个问题是降低测试针与器件引脚间的接触电阻。在自动化生产线中，企业要想得到高精度的测量值，必须经常替换已磨损的测试针，才能获得更高的成品率。另一个问题是降低外部信噪对半导体高频器件（工作频率＞2 GHz）HFE参数测量的影响。外部信噪会使高频器件的HFE参数不稳定，造成成品率的降低。通过SOT363测试针设计实例，介绍了新型长寿命抗干扰测试针的设计方法。

长寿命抗干扰测试针；高频器件；成品率

1 引言

随着半导体设计技术朝着高效率、多功能、小体积的方向高速发展，相应的封装形式也越来越多样化。其中SOT是小型晶体管表面贴装型式，其在汽车电子和通信行业中的应用非常广泛，常见有SOT23、 SOT223、SOT363、SOT89等，如图1所示。

要想对SOT半导体器件的电参数进行精确测量，企业都会选择高效的测量系统。一个完整的测量系统必须包括测量仪表、测量电缆、测试针和器件四个要素，见图2。

工作原理：测量仪表通过测量电缆和测试针将电压或电流加到器件特定的引脚上，测得相应引脚上的电流或电压的值，计算出电参数的数值。

测试针与半导体器件的引脚直接接触，它的设计要求非常严格，不仅要求导电性能好，接触电阻极小，还希望使用寿命较长，维护成本低。……