刘红雨，李姗泽，王颖麟，李俊

（中国电子科技集团公司第二研究所，太原030024）

基于LTCC技术的无源气压传感器研制

刘红雨，李姗泽，王颖麟，李俊

（中国电子科技集团公司第二研究所，太原030024）

介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型，主要制作工艺流程和关键工艺难点。研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据，并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试。结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好，谐振频率随外界压力的增大而减小，谐振频率随压力的变化近似于线性变化，在复杂环境内依然能够实现预期功能。

LTCC；内埋型腔体；气压传感器

1 引言

随着现代电子技术的发展，人们要求电子产品的体积越来越小、重量越来越轻，可靠性的要求也越来越高，特别是在机载、舰载和星载等特殊应用场合。LTCC（Low Temperature Co-fired Ceramics）技术灵活的腔体结构形式使其在高密度集成方面显示了优势。本文利用LTCC技术在高温、高湿等恶劣环境下的优异性能和灵活的腔体工艺，设计了基于LTCC技术的无源气压传感器，使其在复杂环境下仍可保持高精度和高可靠性。

2 气压传感器原理及设计

本文设计的基于LTCC技术的无源气压传感器的基本构成是可变电容和电感线圈组成的串联LC谐振电路[1]，当产生谐振时，传感器的谐振频率为：

在外界气压作用下，电容的极板间距d变小，导致式（1）、（2）中电容Cs变大，保持电感线圈Leq不变，则传感器的谐振频率f也将改变。……