张少波

摘 要：在高新技术领域，ITO透明导电膜玻璃得到了较好的应用。基于这种认识，本文对ITO玻璃的生产工艺技术发展情况进行了分析，并对其应用前景展开了探讨，从而为关注这一话题的人们提供参考。

关键词：ITO透明导电膜玻璃；生产；应用

随着电子器件的发展，其对液晶显示界面的导电性和光学透过性也提出了更高的要求。而使用ITO透明导电膜玻璃，则能满足电子器件的发展需要。加强对ITO玻璃生产工艺技术的研究，并了解ITO玻璃的应用前景，则能为企业进行该种材料的生产制造提供指导，同时也能为企业的发展指明方向，继而更好的促进该种材料的发展与应用。

1 ITO透明导电膜玻璃介绍

ITO是氧化铟锡的英文缩写，所以ITO透明导电膜玻璃其实就是氧化铟锡透明导电膜玻璃，為上世纪70年代得到研发的一种材料。目前，该种玻璃主要应用于进行LCD的生产[ 1 ]。

从特性上来看，该种玻璃膜层电阻率能够达到10-4Ω°cm，具有良好导电性，并且耐磨、耐腐蚀，具有较好加工性，能够达到85%的可见光透过率，红外线反射率可达80%以上，紫外线吸收率可达85%以上，微波衰减率则能达到85%以上。

2 ITO透明导电膜玻璃的生产工艺

由于ITO透明导电膜玻璃生产生产起来较为困难，所以生产该种玻璃的国家较少，主要是日本、美国等科技发达的国家。在实际生产时，需要使用厚度在0.4-1.3mm的超薄玻璃、ITO靶材等原料，并使用镀膜设备完成镀膜加工。

在玻璃镀膜阶段，目前可以采用的生产方法有较多，如浸渍法、喷涂法和溅射法等。其中，利用直流磁进行溅射控制的方法使用较为广泛，可以完成ITO膜层的连续镀制，所以能够用于进行工业生产。使用该技术镀制的膜层拥有均匀的厚度，并且具有较好的重复性及稳定性。

此外，在生产环境温度较低的情况下，使用该技术也能完成致密膜层的镀制，并且能够按照需求完成基片和靶的安放。由于具有较高的生产效率，所以该种工艺技术在工业生产中得到了应用，可完成多种规格和质量良好的玻璃材料制备，产生的能耗则较小。在具体应用该工艺技术时，需要先利用去离子水和超声波对超薄玻璃片进行预处理，然后在真空环境中完成二氧化硅的镀制。

在镀膜时，需要在镀膜室内进行材料加热，并在材料固化退火后完成材料制备。由于该种玻璃生产有着较高的环境要求，所以需要进行氧气和氩气的充入，从而使生产环境保持无尘洁净。在磁控下，使用溅射法进行镀膜，则能使玻璃表面的氧化铟锡薄膜得到沉积。由于需要确保玻璃膜层的导电性和透明度，所以还要加强靶材组分、沉积速率、溅射压力等多个要素的控制，尽量实现低压溅射，以免膜层受损。值得注意的是，想要完成优质ITO透明导电膜玻璃的生产，还要完成优质玻璃基片的选择。

就现阶段而言，国际市场上的优质基片主要来自于美国、英国、日本等国家，国内也需要通过进口这些基片进行玻璃生产[ 2 ]。而ITO靶材作为重要的工业生产原料，目前受制造难度限制，其先进生产技术依然主要被美国、日本等国家把持。

3 ITO透明导电膜玻璃的应用分析

从应用情况来看，ITO透明导电膜玻璃主要被应用在LCD领域、工业领域和交通等領域。在LCD领域，ITO玻璃应用范围较广，最早被应用在计算器和电子表等设备的液晶显示屏上。

随着电子技术的发展，ITO玻璃也逐渐在笔记本电脑、文字处理机和新一代液晶显示器中得到应用。由于具有能耗低、无闪烁、抗干扰等优点，ITO玻璃开始在监视器、电视机和太阳能电池面板等产品中得到应用，为LCD的发展奠定了良好基础。

我国作为LCD产品生产大国，每年将产生数百万的ITO玻璃需求，建立了数十条ITO玻璃生产线，但是生产的ITO玻璃仍然供不应求。此外，利用ITO玻璃可以完成特种玻璃的制备，从而应用在汽车、飞机、航空设备等多个生产领域[ 3 ]。应用ITO玻璃制备得到特种玻璃，不仅能够实现隔热降温，还能连电去除冰霜，所以在国防工业、交通和航天等多个领域都能得到较好的应用。利用该种玻璃完成多功能建筑玻璃的制造，如电加热玻璃、太阳能玻璃和防盗玻璃等，也能为建筑工程的设计提供更多选择。

4 结论

通过分析可以发现，ITO透明导电膜玻璃具有较多的优势，能够在多个领域得到较好的应用，所以拥有良好的应用前景。但就目前来看，该种玻璃具有一定的生产难度，在国内仍处于供不应求的状态。因此，国内企业还应加强ITO玻璃的生产工艺技术研究，以便更好的进行市场开拓。

参考文献：

[1] 汤儆，庞文辉，任禾，等.微接触印刷技术在ITO基底上快速转移Au纳米粒子图案[J].物理化学学报，2013，03：612-618.

[2] 宁静，智林杰.基于碳纳米材料的柔性透明导电薄膜研究进展[J].科学通报，2014，33：3313-3321.

[3] 张念椿，刘彬云，肖定军，等.透明导电膜材料纳米铜线的制备及其性能研究[J].材料研究与应用，2014，02：117-120.