井海石，肖雅静，田洪涛，熊 朋

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京，100176)

基于CPLD的半导体设备电源系统控制技术研究

井海石，肖雅静，田洪涛，熊 朋

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京，100176)

研究基于CPLD的半导体设备电源系统控制技术，介绍了CPLD相关知识、电源系统控制原理、电源系统控制硬件软件设计及抗干扰技术，最后结合实际应用指出基于CPLD的电源控制技术具有广泛的应用前景。

复杂可编程逻辑器件；半导体设备；电源系统控制

半导体设备涉及传感识别、运动控制、温度控制、图像处理、计算机通信等众多领域。系统结构复杂、功能模块众多，技术含量极高。半导体设备的电源系统也是很复杂的，即包含交流电源又包含直流电源，电源的种类较多。电源系统是半导体设备的心脏，电源系统稳定工作是设备正常工作的先决条件。半导体设备对电源系统的控制要求比较高，一是电源控制可靠稳定；二是实现特定控制功能，如时序启动、分模块上电、延时断电以及电源输出独立控制等。这对于抑制电源浪涌冲击、维护电源稳定、满足设备工艺要求和设备模块维护都是十分必要的。因此，简单可靠地对半导体设备电源系统进行控制是极为重要和关键的。

传统电源系统控制技术主要采用接触器和继电器（中间继电器、时间继电器等）组合控制方式，可实现自锁、互锁、延时启动断电等控制功能，可靠性较高，缺点是构造复杂、接线多、不易集成、占用空间大、一旦定型无法更改控制方式。……