李 召，范宗尉，王 文，朱泽飞

(杭州电子科技大学机械工程学院，浙江 杭州 310018)

聚焦超声辐射力场下两相界面变形特性研究

李 召，范宗尉，王 文，朱泽飞

(杭州电子科技大学机械工程学院，浙江 杭州 310018)

设计了一种基于聚焦超声辐射力场的两相界面变形方法可应用于焦距可调式微透镜的制备.通过MATLAB仿真获得了聚焦超声辐射力场的声场分布，并对聚焦超声辐射力场下的界面变形特性进行了实验研究.实验结果表明，调节聚焦超声辐射力场可以实现对两相界面的变形高度及变形区域大小的动态控制，两相界面初始变形阶段的球面或椭球面的变形形态可应用于焦距可调式微透镜的制备.

微透镜；超声辐射力场；两相界面；变形

0 引 言

随着科学技术的发展，光学器件的微型化制造更加符合现代制造业的发展需求.作为微光学器件的重要组成部分，微透镜的制备得到了广泛的关注和研究.微透镜也称微小透镜，指直径在微米级或若干毫米级的透镜[1].目前，焦距可调式微透镜的制备方法主要包括压力驱动、热效应、电润湿等，制备系统复杂、可控性相对较差等因素限制了上述制备方法的快速发展[2].Chu B.T.等[3]通过理论分析给出了两相界面在声辐射压下产生变形的理论条件.B.Issenmann等[4]优化了声辐射压下两相界面的平衡方程.Cinbis C.等[5]通过添加表面活性剂改变界面表面张力的方法研究了表面张力对气—液界面变形的影响.Bertin N.等[6]根据声波导理论给出了……