汤晓英

(南京电子技术研究所， 南京 210039)

·总体工程·

微系统技术发展和应用

汤晓英

(南京电子技术研究所， 南京 210039)

作为军事装备自主可控和信息化武器系统微型化、集成化、智能化发展的重要支撑，微系统技术在军事竞争中具有重要的战略意义，受到国外军事强国的高度重视，被美国国防先期研究计划局列为战略发展重点，并设立专门办公室加强技术研究和应用开发，不断加快微系统的发展，推进在武器装备系统中的应用。文中从微系统研究项目、元器件技术、集成技术、算法与架构、热管理技术等方面介绍了国外微系统发展现状，描述了微系统在雷达、通信、电子战等领域的应用情况，分析了微系统技术发展方向和研究重点，提出了我国发展微系统技术的建议。

微系统；微电子；光电子；微机电系统；集成

0 引 言

微系统是以微电子、光电子、微机电系统(MEMS)为基础，结合体系架构和算法，运用维纳系统工程方法，将传感、通信、处理、执行、微能源等功能单元，在维纳尺度上采用异构、异质等方法集成在一起的微型系统。美国国防先期研究计划局(DARPA)将微系统定义为在微电子、微机械、微光学等基础上把传感器、驱动器、执行器和信号处理器等集成在一起的具有一种或多种功能的装置。与传统集成电路主要实现计算、信号处理或信号存储等单一功能不同的是，微系统能够完成信号感知、信息处理、信令执行、通信和电源等多种功能，正向芯片级系统和跨域应用智能信息处理平台芯片发展。……