曾祥华，朱秀榕

(赣南师范大学 物理与电子信息学院，江西 赣州 341000)



·光子学与光子技术·

聚酰亚胺平面/调制薄膜的制备与测量*

曾祥华，朱秀榕

(赣南师范大学 物理与电子信息学院，江西 赣州 341000)

采用联苯四羧酸二酐(PMDA)和对苯二胺(PDA)为二酐和二胺，以N , N-二甲基乙酰胺(DMAc)为溶剂制备了聚酰胺酸溶液( PAA ).采用旋涂工艺，以K9玻璃或调制模版为衬底，制备了聚酰亚胺(PI)平面/调制薄膜.对其厚度、结构、表面粗糙度和表面调制图形进行了测量，研究了其厚度与旋涂速度和PAA溶液浓度的对应关系.结果表明，PAA溶液在马弗炉中进行370 ℃热处理，可以完全转化为PI；通过旋涂法制备PI平面薄膜的平均粗糙度Ra的最大值和最小值分别为3.7 nm和3.1 nm；PI平面薄膜最小厚度为1 μm，且其厚度随着旋涂速度增大而减小，随着PAA溶液浓度的增大而增大；PI调制薄膜的周期和振幅分别为100 μm和4.8 μm，在调制图形转移过程中，周期不变，而振幅存在0.2 μm的转移误差.

聚酰亚胺；聚酰胺酸；薄膜；旋涂；惯性约束聚变

激光惯性约束聚变实验一般是把氢的同位素氘和氚采用低温渗透的方法，装入直径为一毫米或几毫米的靶丸小球，采用多束高能量的激光束均匀入射到小球的外表面，使其表面迅速被烧蚀并向外喷发，受它的反作用，产生向心的惯性力压缩靶丸内的氘和氚燃料，随着温度和压力的急剧升高，当达到点火温度时，氘和氚将发生聚变反应，而释放出巨大的能量[1-2].该实验面临的关键技术问题有两个：一是无法使入……