彭 伟，朱佐祥，皮陈炳，蔡雪贤，尚福亮，杨海涛

（1.深圳大学 材料学院，广东 深圳 518060；2.深圳市特种功能材料重点实验室，广东 深圳 518060；3.深圳陶瓷制备先进技术工程实验室，广东 深圳 518060）

球料比对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响

彭 伟，朱佐祥，皮陈炳，蔡雪贤，尚福亮，杨海涛

（1.深圳大学 材料学院，广东 深圳 518060；2.深圳市特种功能材料重点实验室，广东 深圳 518060；3.深圳陶瓷制备先进技术工程实验室，广东 深圳 518060）

采用常压烧结法制备W掺杂Li3PO4陶瓷靶材，通过改变WC磨球与Li3PO4粉末原料质量比大小，确定W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的最佳制备工艺。通过XRD测定靶材物相结构，SEM观察靶材的断面形貌，万能实验机测量靶材的抗弯强度，维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度，阿基米德排水法测量靶材密度等，对W掺杂Li3PO4靶材的性能进行了分析表征。研究表明，WC与Li3PO4球料比为2∶1的条件下获得的W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的综合性能最佳，靶材的相对密度达到92.24%，抗弯强度达到38.34 MPa，维氏硬度达233.810，HV0.3。

碳化钨；掺杂；Li3PO4靶材性能；球料比；常压烧结法；力学性能测试

0 引言

随着动态随机存储器（DRAMS）、微传感器、微电机械系统（MEMS）、CMOS芯片以及植入体内的医用系统等微电子器件超微型化的发展，全固态薄膜锂电池凭借着其自身的多个优点，近年来在国内外受到广泛关注，部分国家已实现工业化生产，无论是在民用还是军事上都展现出广阔的应用前景。Li3PO在作为微电源方面，Li3PO4靶材制备的LiPON固态电解质薄膜是全固态薄膜锂电池的重要组成部分，是当前全固态薄膜锂电池研究中应用最为广泛的电解质薄膜[4-6]。……