孙向磊，郭丽娜，吕宏伟

(航天动力技术研究院 西安航天化学动力厂，西安 710025)



直线超声波电动机在精密平台中应用的现状

孙向磊，郭丽娜，吕宏伟

(航天动力技术研究院 西安航天化学动力厂，西安 710025)

尖端工业生产领域需要精密平台为其提供技术支持。对各国的先进直线超声波电动机驱动的精密平台的原理、性能和应用作了初步介绍，并与上海大学研制的短、小、薄超声波电动机精密平台作对比。通过分析它们的特点，为我国的直线超声波电动机驱动控制精密平台的开发研究提供建议和参考。

精密平台；直线超声波电动机；定位精度

0 引 言

近些年，纳米级操作技术已成人类进入微观世界的关键技术，成为各国科学研究工作中急需解决的重要组成部分。超耐久性、高精度、远行走距离的超精密工作台系统在这个领域内占有极为重要的地位。在细微装配、微型设备、大规模集成电路板生产加工、精密仪器测量加工、细胞领域精密操纵等研究项目中,精确的定位和特别精细的操作是迫切需要的,由此可见超精密定位工作台为这些研究领域提供必需的技术支持。工作台的运动控制、运动加速度及起动和停止过程中达到稳定状态所耗时间又影响了工作效率, 成为工作台系统的参考指标。另外,精密平台的载重、振动、控制等技术指标参数决定了我国在高技术领域研究水平的参考标志。最早的精密定位平台是由直线导轨、步进电机和滚珠丝杠，由于滚珠丝杠的回程间隙和步进角的限制，其定位精度并不高[1-4]。……