芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议

2016-09-10严晨圆杨晓春上海达恩贝拉环境科技发展有限公司中芯国际集成电路制造上海有限公司

中国科技信息 2016年16期

关键词：沸石

陈娟严晨圆杨晓春上海达恩贝拉环境科技发展有限公司，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司）

芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议

陈娟严晨圆杨晓春
上海达恩贝拉环境科技发展有限公司，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司）

研究背景

随着新的《大气污染防治法》（主席令第31号）、《大气污染防治行动计划》（国发［2013］37号）、《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策》（环保部公告2013年第31号）等政策文件的相继出台，我国对VOCs治理要求和力度逐渐加强。

芯片制造业由于大量使用有机溶剂作为清洗剂、光刻胶、剥离液、稀释液等，其产生的有机废气具有大风量、低浓度等特点。为了有效地治理此类VOCs废气，沸石转轮吸附浓缩法成为了行之有效的优选治理方案。

沸石转轮采用沸石分子筛作为吸附剂，具有耐高温、较高机械强度等性能，可以满足高频次连续吸附、脱附的需求。针对不同的VOCs成分，应有针对性地选用吸附效率高的沸石分子筛作为吸附剂，才能达到理想的、高效的VOCs治理效果。

目前市场上技术较为先进和成熟的沸石转轮设备制造商主要有瑞典蒙特（Munters）、日本倪佳斯（Nichias）、西部技研（Seibu Giken）等国外品牌，国内自主研发的沸石转轮系统尚未成熟。为此，本文以中芯国际上海工厂为调查样本，分析其VOCs废气成分，为其沸石转轮系统的沸石分子筛选取提供值得借鉴的方案和建议。