刘 英，王 兵，王 速（广东宁源科技园发展有限公司，526000）

溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究

刘 英，王 兵，王 速
（广东宁源科技园发展有限公司，526000）

本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法，在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜，于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试，观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试，测试证明薄膜对H2、乙醇敏感性较差，对NO2敏感性良好。

WO3纳米薄膜；溶胶-凝胶法；气体敏感

0　引言

本文旨在改善溶胶-凝胶法制造工艺，利用后期热处理制造出具有介孔结构的纳米WO3薄膜。溶胶配置主要选用钨酸盐与强酸的配方，烘干成粉体后涂在敷陶瓷基底上，最后经过后期热处理等步骤煅烧成具有纳米微观结构的薄膜［1］。后期工作主要包括以下几个方面：（1）扫描电子显微镜和X射线衍射等仪器观察薄膜表面形貌与结构；（2）施加电压测试相关电学特性；（3）通入相应气体查看薄膜对气体的敏感特性。

1　实验

首先称量试剂，在托盘天平上放好称量纸，称量出2g的钨酸钠各三份，分别记录为1、2、3号样品。取出其中的1号样品放入烧杯中，用量筒测出60mL去离子水与钨酸钠粉体混合。将振子至于盛有溶液的烧杯之中，开通搅拌器开关，逐渐调整转速至稳定开始搅拌。待到溶液中的钨酸钠完全溶解之后，利用胶头滴管逐滴向溶液中滴加浓HCl。具体反应式如公式（1-1）所示：

滴加过程中，观察到溶液中有白色沉淀产生，并伴随搅拌过程逐渐消失。……