王仁彻，严战非，王向阳，曲宁松

(1. 南京电子技术研究所， 江苏 南京 210039； 2. 南京航空航天大学机电学院， 江苏 南京 210016)

太赫兹波纹喇叭制造工艺技术实验研究*

王仁彻1，严战非1，王向阳2，曲宁松2

(1. 南京电子技术研究所， 江苏 南京 210039； 2. 南京航空航天大学机电学院， 江苏 南京 210016)

传输太赫兹(Terahertz, THz)波的馈源结构的特征尺寸在亚毫米量级，且精度要求高。波纹喇叭馈源结构具有良好的电讯特性，但内腔结构复杂，制造难度大。针对太赫兹波纹喇叭的具体结构和技术要求，对微细加工和微电铸工艺技术进行了调研和分析，给出了一种利用这些技术的太赫兹波纹喇叭的精密成形工艺方案。开展了内腔筋宽为0.1 mm的波纹结构的工艺实验，为太赫兹波纹喇叭的精密成形提供了有益的工艺方法和工程经验。

太赫兹；波纹喇叭馈源；微细加工；微电铸

引 言

太赫兹(THz)波是指频率在0.1～10 THz波段内的电磁波，介于毫米微波与远红外波段之间，具有良好的非极性物质穿透性。太赫兹雷达可实现极大信号带宽和极窄天线波束，空间分辨率高，从而获得精细的目标成像，并具备穿透云层、烟雾的能力，是能应对复杂恶劣环境条件的高精度雷达的发展方向[1-2]。传输电磁波的波纹喇叭馈源的特征结构形状在内腔，与毫米波相比，太赫兹波纹喇叭馈源的内腔特征尺寸要求更小，需要达到亚毫米级，而精度要求更高，亚毫米尺度波纹喇叭的精密微细制造是制约太赫兹雷达工程应用的难题之一。……