褚聪，戴勇，沈明，葛满，叶见领，袁巧玲

（浙江工业大学 特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室，杭州310014）

随着现代科技的进步，光学玻璃元器件在现代工业中的应用越来越广泛，凸透镜、光学仪器镜片、激光反射镜等，都只是光学玻璃应用的冰山一角[1—3]。随着光学玻璃应用的愈加广泛，对其加工后的表面质量及形状要求也越来越高。一般要求工件的面型精度为0.1～0.001 µm，角度精度大约在秒级，且光学玻璃对表面质量要求为纳米级，一般表面粗糙度需要达到 20 nm以下[4—7]。

水射流加工技术，是近年来发展起来的一种全新加工方式[8—12]。在加工过程中，抛光液中的微小磨粒在水流带动下，以较高的速度撞击工件表面，达到去除材料的目的。当水射流中的所有磨粒在水流的带动下，以不同角度和方向对工件表面进行加工，即可达到光整工件表面的作用。在此过程中，抛光基液的作用不仅是磨料颗粒的承载基液，而且可以添加合适的化学试剂，提高加工效率。抛光基液[13]也起到冷却的作用，避免了传统热加工方式中对工件的热损伤。此外，磨粒作为一个个微小切削刀具，可以对十分微小的缝隙进行加工。但是这种加工方式有其自身的弊端，最显著的就是法向力冲击损伤问题以及磨粒束的发散问题[14]。为解决水射流加工中存在的问题，本文采用了约束磨粒射流的方式，以达到加工的目的。

约束磨粒流是在水射流加工的喷嘴末端施加一个约束力，使喷嘴紧贴在待加工工件表面。……