雷　强，高　杨，王　雄

（1.西南科技大学信息工程学院，四川 绵阳 621010；2.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川 绵阳 621999；3.核探测与核电子学国家重点实验室（中国科学院高能物理研究所），北京100049；4.中国空气动力研究与发展中心，四川 绵阳 621000）

测试理论

MEMS壁面剪切应力传感器研究进展

雷强1，高杨2，3，王雄4

（1.西南科技大学信息工程学院，四川 绵阳 621010；2.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川 绵阳 621999；3.核探测与核电子学国家重点实验室（中国科学院高能物理研究所），北京100049；4.中国空气动力研究与发展中心，四川 绵阳 621000）

壁面剪切应力的时间特性是用于反映单个动量运输过程中非稳态结构的一个测量参数，也是湍流中相干位点的一个表征方法，是一个重要的壁面湍流的物理量。目前，主要基于近壁或壁面处的平均速度梯度和换热率与壁面切应力成正比的基础上对MEMS壁面剪切应力开展研究。因此，对MEMS壁面剪切应力传感器进行综述。根据不同的测量方式，MEMS剪切应力传感器主要分为直接测量和间接测量两种类型。对每种测量方法的原理、研究现状、优点和限制进行分析。MEMS技术使得剪切应力传感器取得显著的进步，提高空间和时间分辨率，以及测量结果的准确度。但MEMS剪切应力传感器还需要进一步发展，并且量化测量中的不确定度，才能成为一种可靠的剪切应力测量技术。最后，对未来MEMS剪切应力传感器的发展方向进行总结。

MEMS；传感器；剪切应力；湍流测量

0　引　言

在流体中，准确测量壁面剪切应力的能力具有广阔的应用范围，可应用于空气动力研究、工业过程控制和生物医学等领域。……