沈国晟，陈文理，李 仲，洪瑞江

(1. 中山大学太阳能系统研究所∥广东省光伏技术重点实验室，广东 广州 510006；2. 青海民族大学物理与电子信息科学学院，青海 西宁 810007)

中频磁控溅射法制备掺氢氮化硅减反/钝化复合功能薄膜的研究

沈国晟1，陈文理1，李 仲2，洪瑞江1

(1. 中山大学太阳能系统研究所∥广东省光伏技术重点实验室，广东 广州 510006；2. 青海民族大学物理与电子信息科学学院，青海 西宁 810007)

使用中频磁控溅射法制备了具有光学减反射与电学钝化的复合功能的氮化硅(SiNx)薄膜，并对其结构和性能进行了综合研究。结果表明：在常规制绒硅片上沉积的两种不同折射率的单层SiNx减反膜表现出优异的光学性能，其在300～1 100 nm波段的平均反射率由镀膜前的14.86%下降到镀膜后的5.50%和6.58%；若采用多层的氮化硅(m-SiNx)+ 氮氧化硅(SiOxNy)薄膜作为减反层，则其平均反射率进一步下降到4.03%。同时，优化工艺制备得到的掺氢氮化硅(SiNx∶H)薄膜，表现出良好的电学钝化特性。试验中分别制备了两种复合结构的薄膜，即SiNx∶H(厚度15 nm) +m-SiNx+ SiOxNy与SiNx∶H(厚度30 nm) +m-SiNx+ SiOxNy复合薄膜，其平均反射率分别为5.88%和5.43%； 把这两种薄膜用于晶体硅太阳电池上，其开路电压则都达到了575 mV，表现出良好的性能。

太阳电池；掺氢氮化硅薄膜；减反膜；钝化膜；中频磁控溅射

薄膜技术在光伏产业上有着广泛的应用[1-3]。对于高效晶体硅电池来说，在其表面制备兼具光学减反射与电学钝化的功能薄膜至关重要[4-5]。减反射效果的好坏很大程度决定了太阳电池的短路电流大小，而其开路电压则是衡量钝化效果如何的一个标准。……