时乐宇 纪延俊

摘要：本文充分分析了迈克尔逊干涉仪的原理，巧妙地结合了微小振动测量的方法，确立了迈克尔逊干涉仪测微小振动的方案，在参考光反射镜前加一个凸透镜，形成一个类似于猫眼的装置——准猫眼动镜，这样使动镜的反射光不会引起光束偏正度的变化，得到更好的条纹对比度。很好地实现了光干涉法对振动的测量，为测量微小振动提供了一个有效的技术支持。本文采用的检测技术为检测条纹移动变化技术，探测器发射一束光信号，利用其是否接收到反射信号来判断条纹的暗亮，以高低电平表示，实现了信号的转换。通过计算机对电信号进行仿真处理，得到信号图和频谱图，从而提高了系统的测量精度。

关键词：干涉；振动测量；信号转化

中图分类号：G642.3 文献标志码：A 文章编号：1674-9324（2016）45-0275-02

一、引言

机械振动在石油的勘探、发电机组的振动监测、各种机床的振动、铁路和桥梁的振动分析等方面有广泛的应用。随着现代工程技术飞速发展，低频微小振动的测量成为振动测量的主要研究方向之一[1]。

基于激光干涉原理进行的光学测量的激光干涉测量法是一种高精度的测量技术[2]。其测量的分辨率和稳定性可以根据实际的应用情况选择适合的调制解调方法来提高。但是，激光干涉测量技术的测量精度受诸多因素的影响，使得理论与实际操作之间还存在较大的差距[3]。常见的高精度激光干涉测量法包括：零差激光干涉法[4]、外差激光干涉法[5]。……