周 淳，蒋文广

（无锡中微腾芯电子有限公司，江苏 无锡 214035）



集成电路分选机的维修及应用

周 淳，蒋文广

（无锡中微腾芯电子有限公司，江苏 无锡 214035）

摘 要：随着经济发展和技术的进步，集成电路产业取得了突飞猛进的发展。集成电路测试在集成电路产业链中的作用越来越大，专业化的集成电路测试业是集成电路产业中一个重要组成部分，是保证集成电路性能、质量的关键环节之一。各大半导体生产厂家都在竭力提高生产效率和检测效率，生产厂家在芯片生产中采用了自动化的半导体测试仪器和高速、智能化的集成电路分选机。以CTS800分选机为例，详细介绍了集成电路分选机常见故障的维修及应用。

关键词：集成电路分选机；测试系统；电气控制；高压测试；通信信号

1　引言

了解分选机各部件的作用、性能及其工作原理是维修设备的前提条件，对出现的故障可以利用替换、测量、逐一排查等方法进行维修，以达到快速解决故障的目的。本文以CTS800分选机为例，介绍分选机的硬件组成部分、电子电器控制系统、气动系统的故障维修方法及实际生产中的应用。

2　CTS800分选机的硬件组成及工作原理

CTS800分选机是料管到料管的全自动进料、单通道、单个测试头测试，由一套分料梭子、8个分 BIN手动装卸料管出料的测试分选机与适当的测试系统相联，即可实现集成电路分BIN分选。该测试机械手由自动进料部件、测试部件、自动分类出料部件、电子电器控制系统、气动系统及机架几部分组成。……