贾美洋，刘宏

（邵阳学院魏源国际学院，湖南 邵阳 422000）

超精密微机械制造技术研究

贾美洋，刘宏

（邵阳学院魏源国际学院，湖南 邵阳 422000）

近年来，随着科学技术水平的不断发展，航天航空工业、微机械工业、生物工程等都有了很大的发展，这些行业的发展离不开精密微小零件的发展。目前，精密微小零件的发展方向愈加多元化，结构特征也愈加复杂。相关行业对精密微小零件的各种功能和使用稳定性的要求也越来越高。在这种环境背景下，进行有关超精密微小零件的研究十分必要。本文将结合目前超精密微小零件发展的现状，开展有关超精密微机械制造技术的研究，希望能对我国未来超精密微机械制造技术的发展有所帮助。

超精密加工；微机械；机械制造

随着相关专业领域的发展，对超精密/精密微小零件的要求越来越高，需求量也不断增加。超精密微机械制造技术是新兴的一种科学技术，是在20世纪80年代末才出现的，在21纪获得了较大的发展，并被广泛地应用于各个领域，如国防领域、电子领域、医疗领域等。为了满足对精密微小零件的使用要求，微机械被应用于精密微小零件加工中，从而也改变了现代装备加工发展的方向。本文将从超精密微机械制造技术的内涵入手，介绍超精密加工的特点，并对超精密微机械制造技术展开分析和研究。

1 超精密微机械制造技术的内涵

微制造系统的主要加工对象是微小机械零件，在加工的过程中主要依靠系统化和集成化的理论，通过观察加工工件的结构和相关的要求进行加工、检测、搬运等工序，与一般的零件加工相比，微小零件是要在比较狭小的空间完成上述工序。……