孟　洁，白基成，李　强，曹　剡

(哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨　150001)



微细电火花制备大长径比微细电极的工艺研究*

孟洁，白基成，李强，曹剡

(哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨150001)

摘要：针对电火花块电极磨削效率高和线电极磨削精度高的优点，采用块电极磨削为微细电极的粗磨削、线电极磨削为微细电极的中、精磨削方式，对大长径比微细电极的制作技术进行研究。通过分析微细电火花加工大长径比微细电极的影响因素，对影响大长径比微细电极制作的加工参数进行了大量的工艺试验，得到各参数对微细电极制作的影响规律，优选得到相关的大长径比微细电极的加工参数，并进行了实验验证。

关键词：微细电火花；微细电极；块电极磨削；线电极磨削；大长径比

0引言

随着微机电系统的发展，对微型结构的零部件需求量越来越大。目前，加工微型结构的方法很多，其中微细电火花铣削加工技术以其非接触式加工、不受材料硬度限制等优势成为加工微型结构的一种重要方法。采用微细电火花铣削技术加工具有微型腔、微小孔以及阶梯孔等微型结构的零部件，需要制备直径很小的微细电极；另一方面，在微细电火花铣削加工中，微细电极的损耗非常严重，微细电极的长度在很大程度上影响了铣削的加工效率，而且微细电极的精度也会影响型腔或者孔的精度，因此需要制备大长径比微细电极。

目前国内外很多学者对微细电极的制作有相关的研究。……