王梅玲，王　海* ，高思田，马一博，范　燕，宋小平

(1.中国计量科学研究院，北京　100029；2.中国石油大学(北京)　化学工程学院，北京　102249)



Cu(In,Ga)Se2薄膜组成表面分析准确测量国际关键比对

王梅玲1，王海1*，高思田1，马一博2，范燕2，宋小平1

(1.中国计量科学研究院，北京100029；2.中国石油大学(北京)化学工程学院，北京102249)

摘要：中国计量科学研究院参加了国际关键比对K129，采用X射线光电子能谱仪(XPS)建立了测量薄膜太阳能电池材料铜铟镓硒(CIGS)薄膜组成和深度成分分布的有效方法。采用合适的条件，对CIGS薄膜进行深度剖析，提出并完善了一套XPS深度剖析数据处理方法(全计数法和相对灵敏度因子法)，对薄膜组成进行了准确测量。结果表明，该方法的测量重复性良好，5次测量的相对标准偏差(RSD)均小于2%，测量扩展不确定度优于4%，与其他国家计量院的结果取得等效一致。对比研究了不同灵敏度因子来源(由参考样品获得、仪器数据库的3种来源)对CIGS薄膜组成测量结果的影响，结果表明，仪器厂商数据库自修正的灵敏度因子最接近于参考样品，可较好地对CIGS薄膜进行原子含量测量。该方法可推广用于表面分析设备深度剖析薄膜样品时定量计算薄膜成分，提高测量薄膜成分的准确度，为薄膜太阳能电池材料研发和产业化提供参考依据。

关键词：CIGS薄膜；表面分析；深度剖析；X光电子能谱；国际关键比对

薄膜太阳能电池材料作为一种清洁高效的新能源材料，近年来受到广泛关注。其中，铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电……