微系统及其加工方法的介绍

孔亚君

(南昌航空大学，江西 南昌 330063)

摘要：微细加工技作为现代加工技术的延伸，是二十一世纪的关键技术之一。本文介绍了微机电系统的原理及特点，列举了一些微机电系统中所涉及到的微细加工方法，并阐述了其发展及应用。

关键词：微机电系统微细加工技术微机电微电子

微系统技术，最早被美国提出[1-2]，简称MEMS(micro electro mechanical system)。微电系统是指微机械加工技术以及微电子技术(IC)的结合，能够批量制作，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理，并且融合控制电路、接口、通讯等于一体微型系统。微系统开辟了一个全新的技术领域，在21世纪的今天，伴随着环保、医药、通讯等各个领域的迅猛发展，对于功能化、微型化的器件的需求量与日俱增，这其中就需要各种微加工方法的出现，否则制造不出微型器件，何谈微系统。从上世纪60年代微系统的出现到如今，各种微细加工方法的出现逐步的完善了微系统领域，并且呈现了愈发进步的趋势。

1微系统的介绍

一般认为，微电子机械系统通常指的是特征尺度大于1μm小于1nm，结合了电子和机械部件并用IC集成工艺加工的装置。微机电系统是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术，是未来的主导产业之一。微系统自八十年代末开始受到世界各国的广泛重视，主要的技术途径有以下三类：一是以美国为代表的硅基微加工技术；二是以德国为代表发展起来的利用X射线深度光刻、微电铸、微铸塑的LIGA技术；……