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接触式干涉仪大量程数字化技术改造

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（1. 开阳质量计量检验检测中心有限公司 贵州开阳550300；2. 濮阳市质量技术监督检验测试中心 河南濮阳457000；3. 九江职业技术学院机械工程学院 江西九江 332007）

接触式干涉仪是利用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器，长时间测量眼睛极易疲劳、劳动强度大、易引入瞄准读数误差等缺点。在保留高精度光波干涉计量特点和基本保持原仪器光机结构的前提下，应用高像素CMOS图像器件及计算机图像处理技术改造传统的接触式干涉仪，可以在扩大原仪器量程的情况下实现量块检定的数字化智能化。

500万像素 CMOS摄像器件 接触式干涉仪 Matlab语言

目前部分省级计量部门及企业用于量块标准传递所使用的接触式干涉仪，均是六、七十年代产品，其瞄准、测量读数靠单人通过显微目镜观察瞄准，视野狭窄，长时间测量，劳动强度大，眼睛极易疲劳，易引入瞄准读数误差，且量块检定工作中，测量数据多，需人工计算每块量块所得数据，计算量大。

现代可视技术常用的光电图像器件如CCD器件，其空间分辨率高、体积小、重量轻、实时传输性等方面具有很高优越性。

CMOS图像器件近年也得到了迅速发展，其光电特性逐步接近CCD图像传感器件，易于实现图像数字化输出，但价格及体积却较CCD器件有优势。先后有单位利用CCD/CMOS摄像器件改造接触式干涉仪，把原先用人眼观察显微镜下的干涉条纹实时显示在CRT屏幕上，同时干涉条纹图象被自动采集处理，量块检定数据存储处理自动化，提高工作效率，降低了劳动强度。……