摘要 ：臭氧气体分析仪是用来测量空气中或者其他气体成分中臭氧的含量。其检测原理一般分为紫外吸收原理、半导体气敏传感器原理、电化学传感器原理和化学变色原理。zc

关键词 ：臭氧气体分析仪 检测原理 应用

Abstract ：Ozone gas analyzer is used to measure the concentration of ozone in the air or other gas.The detection principle of ozone gas analyzer includes ultraviolet absorption principle，the principle of semiconductor gas sensors，electrochemical sensor principle and chemical stain principle.

key words ：Ozone Gas Analyzers；Detection Principle；Application

1.引言

臭氧气体分析仪主要应用于臭氧制备车间、化工、造纸、制药和香精香料工业、水处理、食品医药灭菌车间等场合 。这里对臭氧气体分析仪的四种检测原理进行了阐述，并且对其适用场合进行了简单的说明。

2.臭氧气体分析仪检测原理

臭氧气体分析仪根据不同的检测原理一般可以分为以下四种。

2.1紫外吸收原理[1]

研究表明臭氧仅对波长253.7nm的紫外线具有最大吸收系数，在此波长下紫外线通过臭氧会产生衰减，符合Lambert-Beer定律。采用紫外吸收原理的臭氧气体分析仪，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许253.7nm的紫外线通过，经过样品光电传感器后，再经过臭氧吸收池，

到达采样光电传感器。最后通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，根据Lambert-Beer定律进行数学模型计算，从而得出臭氧浓度大小。

2.2半导体气敏传感器原理

半导体气敏传感器是利用半导体气敏元件同气体接触后，造成半导体性质的变化来检测特定气体的成分或者测量其浓度。

半导体气敏传感器的臭氧氣体分析仪利用气敏半导体材料，如WO3、SnO、In2O3等金属氧化物制成敏感元件，当它们吸收臭氧时，发生氧化还原反应，产生或放出热量，使元件的温度相应变化，从而电阻发生变化，将臭氧的浓度变换成电信号，进行臭氧浓度的测量。……