吴建文，汪 涛，苏乾民，杨长安，张钦峰

（1. 四川工程职业技术学院 建筑系，四川 德阳 618000；2. 陕西科技大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710021）

电沉积法制备硫化镉薄膜及表征

吴建文1，汪 涛1，苏乾民1，杨长安2，张钦峰2

（1. 四川工程职业技术学院 建筑系，四川 德阳 618000；2. 陕西科技大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710021）

以CdCl2和Na2S2O3混合溶液为电解液，采用电沉积法在ITO导电玻璃基片上制备了CdS纳米薄膜。讨论了沉积电压、热处理等工艺因素对薄膜的影响。分别采用X射线衍射仪（XRD），电子色散能谱仪（EDS）、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）分析了硫化镉薄膜的物相结构和表面形貌。结果表明制备的硫化镉薄膜热处理前为非晶相，热处理后的硫化镉薄膜出现六方纤锌矿CdS相。沉积电压非常重要，小于4.0 V时，制备的硫化镉薄膜由六方纤锌矿CdS相和六方相金属Cd组成。

电沉积；硫化镉；薄膜

DOI：10.13957/j.cnki.tcxb.2015.02.010

0　引 言

硫化镉是一种Ⅱ-Ⅵ化合物半导体材料，其具有较大的带隙宽度（约2.43 eV），被广泛应用于各种光电器件的制造［1-10］。CdS薄膜材料适用于太阳能电池的窗口层，作为N型层与P型材料形成PN结构，从而形成太阳能电池。硫化镉的上述优良的性能引起了人们对它的广泛、深入的研究。制备性能稳定的硫化镉纳米薄膜是当今的研究热点［11， 12］。与其他方法相比，电沉积法具有温度低、效率高、易控制、可大面积生产的特点［13-17］，且可以在形状复杂的基底上制备均匀的薄膜材料。本论文以CdCl2和Na2S2O3混合溶液作为电解液，采用电沉积法在ITO导电玻璃上制备了硫化镉纳米薄膜。……