张鹏远，孔 明，赵子健

（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）

SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用

张鹏远，孔 明，赵子健

（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）

统计过程控制（SPC）技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中，SPC是生产过程控制的有效手段和工具。SPC作为一种过程控制方法，运用数理统计概率论的原理，应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控，可及时发现生产过程中的异常情况。

统计过程控制；控制图；均值极差图

1 引 言

统计过程控制（简称SPC）是应用统计方法对过程中的各个阶段进行评估和监控，建立并保持过程处于可接受的并且稳定的水平，从而保证产品与服务符合规定要求的一种质量管理技术。

SPC是一种借助数理统计方法的过程控制工具。它对生产过程进行分析评价，根据反馈信息及时发现系统性因素出现的征兆，并采取措施消除其影响，使过程维持在仅受随机性因素影响的受控状态，以达到控制质量的目的。当过程仅受随机因素影响时，过程处于统计控制状态（简称受控状态）；当过程中存在系统因素影响时，过程处于统计失控状态（简称失控状态）。由于过程波动具有统计规律性，当过程受控时，过程特性一般服从稳定的随机分布；而失控时，过程分布将发生改变。SPC正是利用过程波动的统计规律性对过程进行分析控制。因而，它强调过程在受控和有能力的状态下运行，从而使产品和服务质量能够稳定地满足顾客的要求。……