王素娟， 陈新度， 李克天

(广东工业大学 机电工程学院，广东省微纳加工技术与装备重点实验室， 广东 广州 510006)

PSD在超精密加工实验数据分析的应用

王素娟， 陈新度， 李克天

(广东工业大学 机电工程学院，广东省微纳加工技术与装备重点实验室， 广东 广州 510006)

功率谱密度(power spectral density,PSD)用于描述随机过程的功率随频率的分布。在超精密加工实验中，功率谱方法不仅仅用于切削力信号分析，还可以用于超精密加工表面微观形貌分析；既可以反映出不同频率在表面形貌中所占的比重，还可揭示切削参数、工件材料性能等对超精密加工表面生成的影响程度。该文使用PSD方法对超精密飞刀铣削在不同进给速度下加工不同工件材料的实验结果进行分析，结果表明,相比于表面粗糙度参数来说，PSD方法更有利于表现出工件材料对超精密加工表面的影响。

功率谱密度; 超精密加工; 表面质量; 切削力

根据我国当今科学技术发展的水平，通常把尺寸、形状精度在0.1～100 nm，表面粗糙度Ra≤10 nm的加工技术称为超精密加工技术。超精密加工包括超精密切削(车削、铣削)、超精密磨削、超精密研磨和超精密抛光等。我国已经成为世界上的制造大国，制造规模居世界第4位，仅仅次于美国、日本和德国[1]。但是我国精密、超精密加工技术与发达国家的发展规模和应用水平相比仍有较大的差距。某些精密机电产品我国虽然已经能够生产，但其中的核心关键零部件仍需依靠进口，尤其对于精密数控设备，例如精密数控机床仍占我国进口设备的主要部分。……