孙术发，刘美爽，狄士春

(1.东北林业大学工程技术学院，150040哈尔滨;2.哈尔滨工业大学机电工程学院，150001哈尔滨)

微细电火花加工(micro electro discharge machining，简称Micro-EDM)属于微细电加工的一种［1-2］，Micro-EDM 可加工难加工材料［3-5］，所需电极材料要求不高［6-7］，机床成本不高，耗能低.Micro-EDM脉冲电源是将工频交流电流转换成一定频率的单向脉冲电流，以供给极间蚀除材料所需的能量.传统的脉冲电源采用预制式脉冲参数设置方法，自动化程度不高.目前，国内外开始研制自适应和智能脉冲电源，日本沙迪克公司率先将智能技术应用在微细电火花加工中，采用人工神经网络技术设计的脉冲电源具有无需人工设定，可自动优化出最佳加工条件的功能，并可通过模糊控制实现最佳控制［8］;英国 kao等［9］运用 BP 神经网络在线监测Micro-EDM脉冲电源放电状态［9］;大连理工大学周明等［10］提出了采用模糊逻辑的简单判别原则和VLQ神经网络相结合的智能化脉冲电源，该电源占用计算机资源少，实时性强，经实验验证具有很好的预测效果，误差率在10%以内.在微小尺寸加工方面，Micro-EDM也取得了长足的进展，韩国理工大学 Lee 等［11］加工出了直径 7.3 μm，长 452 μm的微细电极，用时仅为884 s;东京大学Yu［12］成功加工出长、宽、高分别为500、300、200 μm 的微汽车模型;哈尔滨工业大学在硅材料上加工出了微型燃气轮机的涡轮盘、球冠及微传感结构［13］.

虽然Micro-EDM相比于其他微细加工方法具有很多优点，而且在技术上也取得了长足的进步，但是仍然有一些制约其发展的因素没有得到解决［14-15］.例……