张 言* ，唐 婷，范 钧

(成都工业学院 a.电加工实验室;b.电气与电子工程系，成都 611730)

微细电火花加工用脉冲电源发展现状的分析

张 言a* ，唐 婷b，范 钧b

(成都工业学院 a.电加工实验室;b.电气与电子工程系，成都 611730)

微细电火花加工技术是微细加工领域最重要的加工技术之一。脉冲电源技术是影响电火花加工工艺指标的重要因素。为研究微细电火花加工用脉冲电源的主要研究现状及发展方向，以RC式脉冲电源和独立式脉冲电源为重点，对其工作原理、优缺点、工程实现的难易度进行分析，发现:RC式脉冲电源在能量控制方面仍有改进空间，可以从降低放电电容和放电电压2方面来进行研究;独立式脉冲电源应着眼于利用高速开关管从而减小脉宽，以降低单次脉冲能量。

微制造技术;电火花加工;脉冲电源;发展方向

近年来，在微电子产品、微型机械、医疗器械、航空、通信等领域，微细产品的需求正在日益扩大。电火花加工技术由于具有非接触式、无宏观切削力等优点，已成为实现精微加工的有效途径之一，并受到广泛关注。脉冲电源作为电火花加工机床的重要组成部分，是影响电火花加工工艺的重要指标之一，同时也是微细电火花加工体系中的关键技术，国内外已作了大量研究，且有不少研究成果已应用于实际生产中。日本三菱电机公司研制的超微细精加工电源(Digital-FS)可实现Ra0.03 μm的镜面加工，以及直径0.05 mm 的细丝加工［1］。张敏［2］通过交变脉冲的方式，设计了具有防电解和消电离功能的智能微细电火花脉冲电源，提高了加工精度。……