曾 瑜

（衢州绿色产业集聚区，浙江 衢州324002）

电子气体是半导体元器件制造的基础材料，在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片的生产到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体[1]。电子特种气体质量要求极高，技术门槛高，起步相对较晚、基础薄弱的国内特气企业、研究机构至今无法攻破大多数高纯电子特种气体生产的技术难关，因此中国电子特种气体尤其是高端电子特种气体长期处于跨国公司技术、市场强势垄断之下。

作为电子特种气体中十分重要的硅烷（SiH4）气体，是众多高科技电子行业不可或缺的原料，广泛应用于集成电路、非晶薄膜电池、薄膜晶体管（TFT）平板显示器、特种玻璃、新能源产业。国内硅烷产品处于低水平发展阶段，装置规模小、生产成本高、产品质量差，大多数只能满足光伏等相对低端电子产业市场生产需要，半导体等产业所需要的高纯硅烷主要依赖进口，这部分市场以及大部分平板显示产业所需硅烷被跨国企业牢牢掌握，同时下游电子产业处于蓬勃发展的阶段，所以高纯硅烷产业具有巨大的现有和潜在市场。

位于浙江省衢州市的国家级高新技术产业开发区目前拥有完善的电子特气产业配套设施，企业间已经形成原材料互供关系，区内拥有高纯氨、高纯氯化氢以及高纯氟化氢、氟气等含氟电子特气生产装置。浙江中宁硅业有限公司（中宁）建有4.5 kt/a硅烷生产装置，浙江富士特材料有限公司（富士特）建有30 kt/a三氯氢硅生产装置。……