潘 旻，喻明艳

（哈尔滨工业大学国际微电子中心，威海264209）

·大规模集成电路设计、制造与应用·

基于改进四叉树模型的统计静态时序分析

潘 旻，喻明艳

（哈尔滨工业大学国际微电子中心，威海264209）

提出一种改进的静态时序分析方法，该方法通过对片内工艺变化参数随机变量进行改进四叉树模型分解，然后建立多层分布空间关系指数函数方程组求得片内相邻、次邻块间影响的拟合权重系数，使得非独立的随机变量转化为一系列相互独立的随机变量线性相加的形式，最后遍历获取表征片内工艺参数变化空间关系的协方差矩阵。通过和Monte-Carlo方法以及Minnssta方法仿真结果对比，验证了改进方法的精确性，同时也表明了该方法在降低片内非独立空间关系复杂性方面的有效性。

工艺参数变化；空间关系；统计；四叉树；静态时序分析

1 引 言

随着超大规模集成电路制造工艺逐步迈入深亚微米时代，芯片上互连线以及器件的尺寸和间隔迅速缩小，片上系统的信号频率也急剧增加［1］。这些趋势给互连线的寄生电阻和寄生电容带来了不可忽视的影响，并随之引发决定系统性能和可靠性的相关问题，比如电路串扰和电路延时。电路延时信息是静态时序分析中时序验证的基础，由电磁波传输延时和上升沿延时组成，它决定了电路时钟频率的上限。实际上，由于芯片制造工艺的局限性，片内工艺参数并不是常数，然而即使存在很微小的变化都会带来电路延时的巨大变化，所以在静态时序分析中考虑工艺参数变化是必不可少的。……