徐广铎，王立强，童建民

(清华大学 核能与新能源技术研究院，北京 102201)

X射线测厚仪在冶金行业板带材生产的厚度质量控制中得到广泛使用，其测量控制精度的高低将直接影响产品的质量等级。当X射线穿过被测物质时，射线与物质的相互作用使透射射线强度减弱，当其他条件固定时，透射射线强度由被测物质厚度唯一决定，若已知射线的衰减规律，通过测量透射射线强度即可得到被测物质厚度，这即是X射线测厚的基本原理。当射线为单能窄束时，射线衰减遵循指数定律，但X射线能量具有一定的范围分布，在实际测量系统中也不满足窄束测量条件，所以射线强度随被测物质厚度的变化并不遵循指数衰减规律。因此，在实用中通常需先测量若干厚度已知的标定片进行标定，再通过拟合或插值等方法得到射线强度与被测板材厚度的关系，这种方法的精度取决于标准片的厚度间距，当采用足够多的标准片使厚度间距足够小时，能达到很高的精度。文献[1]提出了一种描述宽束单能γ射线衰减的非线性模型，文献[2]将上述方法应用于薄膜X射线测厚仪中。文献[3-4]在瑞美公司生产的RM312型X射线板形仪中采用了分段多项式拟合的方法进行厚度刻度校正。但文献[1]的方法不能直接应用到非薄膜的X射线测厚仪的刻度校正中，线性插值与文献[3-4]中的多项式拟合法虽可达到一定的测量精度，但刻度校正过程中需较多的标定片，给系统维护稳定运行带来不便。……