高精度双V型导轨的研磨与检测技术

2013-10-10姚雪峰冯树龙糜小涛

长春工业大学学报 2013年2期

宋楠，姚雪峰，冯树龙，糜小涛

（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033）

0 引言

导轨面是现代仪器上一些相对运动部件的导向面，它的加工精度直接影响到仪器的性能。为保证仪器各部件间相对运动精度的要求，导轨面需满足必要的形状和位置精度。对双V型导轨而言，导轨精度一般包括单根导轨在垂直平面和水平平面内的直线度，两导轨在水平方向（X方向）的平行度和两导轨在垂直方向（Y方向）的平行度［1－3］。

现代机床加工行业在加工普通精度的双V型导轨方面已经形成了成熟的技术。而对于大型光栅刻划机来说，为刻划大面积、高刻线密度的高精度光栅，需要有大行程且高精度的导轨配合。在长春光学精密与物理研究所研制的大型高精度光栅刻划机中，为刻划面积400×500mm2、刻划精度5nm、刻槽密度6 000g／mm的光栅，需加工一套高精度双V型导轨，导轨面长1 560mm，中心距离750mm，行程800mm，要求单个导轨副的上下导轨配合直线度误差在水平的X方向和垂直的Y方向均不大于0.2″，两导轨副间平行度误差在垂直和水平方向均不大于1″。对于1 560mm长的导轨面，传统机床加工技术难以满足这样的高精度要求。文中在传统V型导轨加工技术的基础上，对成品双V型导轨进一步研磨加工，并对其直线度和平行度误差指标进行精密检测。