徐 磊 汪 超

（1.江西景德镇陶瓷学院 江西 景德镇：333403；2.武汉工程职业技术学院 湖北 武汉：430080）

目前，喷印技术不仅应用于传统的文字打印，也在微电子制造方面发挥了独特的作用，如电极［1］、太阳能电池［2－3］、半导体［4］、有机场效应管［5－6］、发光器件［7－8］、传感器［9－10］等。由于喷印方式属于加成工艺，因而使用这种方法制作微机电器件，能够实现无掩膜光刻工艺［11］，简化微器件的生产工艺、降低其生产成本。

传统的按需喷印技术主要包括热气泡式、压电式、静电式，它们通过液腔变形挤压溶液而实现喷射。但是当溶液粘度较高时，有限的挤压变形产生的挤压力难以克服液体的粘滞力作用，因而难以有效地将液流分裂成液滴喷射，故传统的喷印技术一般要求溶液粘度较低（＜20mPa·s［12－13］）。

基于电液动力学原理的电液喷印技术（简称EHD喷印），由于从外部提供静电力，并诱使液体射出，因而不仅能够喷射粘度很高的溶液，而且其射流直径远小于喷头尺寸，因此喷头不易堵塞。

脉冲高压作用下的EHD喷印能够喷射微米级微滴［14］，或者使微滴重叠成连续线结构。EHD喷印能够替代传统喷印技术，直接应用于柔性电子领域，是较为理想的、潜在的无掩膜图形化喷印方法。在EHD喷印中，有芯喷头与空心喷头是喷头的两种基本结构。前期的研究工作表明，使用有芯喷头与空心喷头，在脉冲高压作用下，溶液的沉积频率与电压频率间存在分频关系，因而能实验喷印的有效控制［15－16］。但是由于有芯喷头中针芯抑制着溶液流动，使得有芯喷头更能实现高频率喷印。……