张万军 鲍秀娟

（1.黄河水电新能源分公司，青海西宁810006；2.陕西紫兆秦牛锅炉有限责任公司，陕西渭南714000）

多晶硅是单质硅的一种形态， 熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格的形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来形成的晶体就叫多晶硅。 多晶硅一般呈深银灰色，不透明，具有金属光泽，性脆，常温下不活泼。

0 前言

我国多晶硅工业起步于20 世纪50 年代，60 年代中期实现了产业化。 多晶硅材料的生产技术长期以来掌握在美、日、德等3 个国家，形成技术封锁、市场垄断的状况[1-2]。 多晶硅的需求主要来自于半导体和太阳能电池，按纯度要求不同，分为电子级和太阳能级。大规模集成电路的要求更高，硅的纯度必须达到九个9。 目前，人们已经能制造出纯度为十二个9 的单晶硅。多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中间产品，是制造太阳能电池及高纯硅制造的主要原料，是信息产业和新能源产业最基础的原料。 随着全球信息技术的不断进步，对于半导体硅的需求量日益增加。近年来，我国电子信息产业快速发展，特别是高科技领域对电子级多晶硅的需求量有所增加。目前国际上多晶硅生产的主要工艺有改良西门子法、硅烷热分解法和流化床法等[3]。

1 多晶硅的生产工艺

1.1 改良西门子法

1955 年，日本西门子公司成功开发了利用氢气还原三氯硅烷（Si-HCl3）在硅芯法热体上沉积硅的工艺技术，并于1957 年开始了工业规模的生产，这就是常说的西门子法。……