宋文超，陈仲武，姚立新，张利军，王 刚

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601)

铝腐蚀是用适当的腐蚀液，将晶圆片上无光刻胶覆盖的金属铝膜腐蚀掉，而有光刻胶覆盖的区域保存下来。因此所选用的腐蚀液必须既能腐蚀掉裸露的金属铝膜，又不损伤Si片表面的光刻胶层。只有这样，才能把所需要的图形在金属铝层上完整、准确地刻蚀出来。腐蚀时，要尽量避免侧向腐蚀和胶层损伤。常用腐蚀因子（F）来衡量腐蚀质量。

F=腐蚀深度/侧向腐蚀宽度

若F值大则表明腐蚀效果良好，一般F值在0.5～2.5范围，通常F值为1时即可用于生产。

腐蚀是光刻工艺重要的一环，本文介绍了几种常用的铝膜腐蚀工艺，并讲解了全自动铝腐蚀清洗机的工作原理。

1 工艺原理

选择铝腐蚀液的一般原则是：对铝有很好的溶解性，同时对光刻胶的浸蚀作用应尽量小。目前普遍采用的腐蚀液有磷酸、高锰酸钾腐蚀液和碱性腐蚀液。

1.1 磷酸腐蚀液

利用浓磷酸（85%）与铝反应，产生可溶于水的酸式磷酸铝，使铝膜被溶除干净。其反应式为：

铝与浓磷酸反应激烈，会有气泡不断冒出。为了消除这些气泡，使腐蚀顺利进行，可在浓磷酸中加入少量的无水乙醇，也可用毛笔轻轻抹去气泡。腐蚀温度在80℃左右，将盛有腐蚀液的烧杯放在恒温水浴锅内。要注意观察控制好腐蚀时间，既要腐蚀干净又不至过腐蚀。

目前不少单位采用超声腐蚀。由于超声波振动，能将腐蚀时所产生的气泡振碎，使腐蚀均匀，铝引线边缘陡直，对于铝引线之间距离小的图形，这种方法更显得优越。……