马培圣

(中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051)

随着PC 产业的蓬勃发展，也带动了工业控制技术[1]的提升，工控机是一种采用总线结构，对生产过程以及机电设备、工艺装备进行检测与控制的工具总称。它具有重要的计算机特征和属性，如同样具有CPU、内存、硬盘、外设和接口，也有操作系统、控制网络和各种协议，作为人和各种工业设备之间的人机界面，越来越友好和智能化。工控软件系统主要包括操作系统软件、工控软件和应用软件开发环境等，工控应用软件是根据用户工业控制与管理的需要而生成的，因此具有一定的专用性。由于面对的工业对象通常是较为复杂的多任务系统，还必须具有多线程性。

1 CPCI 总线工控机

CPCI 总线(CompactPCI[2]紧凑型PCI)，是国际工业计算机制造者联合会组织于1994年提出的高性能工业计算机总线标准。它是工控机和外部设备连接的一种先进的接口技术，具有可热插拔、高开放性、在恶劣的工业环境中有高可靠性和易维护性等突出特点。在电气特性上，CPCI 总线是以PCI 电气规范作为基础，解决了VME 等其它总线技术和PCI 技术不能兼容的问题，使得基于PC的硬盘存储技术和x86 架构在工控领域可以使用。由于在总线技术作了重大改进，使得CPCI工控机有高密度性等优点。在机械结构上，CPCI总线结构使用了欧卡连接器和标准3U、6U 板卡尺寸。还具有良好的通风性和抗震性，更换和维修板卡也极为方便。

2 涂胶台工控机的结构

涂胶台是半导体工艺光刻[3]中的重要设备，通过主轴的旋转，滴在晶片上的光刻胶在离心力的作用下由轴心向径向飞溅出，而粘在晶片表面的胶受附着力的作用粘附在晶片表面，在高速旋转中胶中溶剂不断挥发，形成一层均匀的胶膜。……