王 英，张 超，迟媛媛，余大书

(天津师范大学物理与电子信息学院，天津 300387)

锆钛酸铅95/5薄膜的介电性能与弛豫特征

王 英，张 超，迟媛媛，余大书*

(天津师范大学物理与电子信息学院，天津 300387)

采用溶胶－凝胶法制备锆钛酸铅95/5(PZT95/5)薄膜，通过分析介电温度谱、介电频谱研究薄膜的介电性能.研究结果表明:介电常数-温度曲线ε(T)的相变峰随着频率的增加而逐渐变得平坦.同时，介电常数倒数与温度曲线ε－1(T)在高频不符合居里外斯定律;采用普适弛豫定律公式，对不同温度下的介电频谱曲线ε(f)进行拟合，得到弥散系数随着温度的变化曲线，该曲线在铁电-顺电转变以及反铁电-铁电转变这两个特征温度附近出现异常，结合材料反铁电-铁电-顺电相变的微观结构变化规律对此现象进行了讨论.

溶胶－凝胶;反铁电－铁电相变;介电谱;普适弛豫定律

0 引言

锆钛酸铅95/5(PZT95/5)材料由于其锆钛比处于铁电－反铁电相附近，具有反铁电性质，并且其在外场条件下能够发生反铁电－铁电转变，产生不同于其他PZT材料的特殊性能，被广泛应用于高效换能器，传感器等领域［1－3］.

文献［4，5］报道了PZT95/5块体材料的介电常数－温度曲线除在居里温度出现异常外，200℃以下出现另一异常点，该处异常说明材料发生了反铁电－铁电转变.但是关于PZT95/5薄膜材料的介电常数－温度曲线研究中，曲线只在居里温度处出现异常［5］.由于溶胶凝胶薄膜材料晶粒尺寸较小的原因导致反铁电－铁电相变峰不能明显地出现［6］，可以通过……