李丽宏，张明路，孙凌宇 ，张建华，魏 智

（1.河北工业大学机械工程学院，天津 300130；2.河北工程大学信息与电气工程学院，河北 邯郸 056038）

随着微机电系统（MEMS）技术的不断发展，机械电子产品的集成化和小型化使许多零部件的尺寸日趋微细化，从而带动了微细加工技术的快速发展.在微细加工的各个环节中，由于操作工具或被操作对象的微小特性，为了控制微操作台对目标进行操作，必须采用基于显微镜头的图像采集处理系统，即显微视觉伺服控制技术.显微视觉已成为微操作、微加工获取操作信息的最主要的技术手段之一[1-2].针对上述情况，在20世纪80年代，国内外学者相继开展了基于计算机视觉的宏/微双驱动操作、加工技术的开发研究.1982年，由美国IBM公司研制成功的第1台扫描隧道显微镜STM，除可对样品表面形貌和物理性质进行检测外，还可用于对表面进行纳米级微细加工.美国麻省理工学院采用计算机微视觉系统实现了微运动参数的实时检测.德国Karlsruhe大学过程控制和机器人研究实验室利用显微平台作为装配平台，采用视觉反馈，另用鼠标和操作杆来控制，完成半自动装配过程.日本积极利用国外技术并结合自身优势，在基于显微视觉的微细加工、微操作方面发展速度较快.哈尔滨工业大学对变倍显微镜下的目标识别、跟踪和伺服控制技术进行了研究，为微细加工、微操作的半自动化和全自动打下了技术基础.华中科技大学利用显……