李 享 ， Ivano Beltrami， 胡义华 ， 吴浩怡 ， 康逢文

（1.广东工业大学 物理与光电工程学院，广东 广州 510006；

2.瑞士意大利语区应用科学大学 创新技术系，瑞士 卢加诺 6928；3.阿奇夏米尔公司 瑞士 卢加诺 6928）

CCD传感器实时检测技术在微细电火花加工机床上应用的优势

李 享1，2， Ivano Beltrami2，3， 胡义华1， 吴浩怡1， 康逢文1

（1.广东工业大学 物理与光电工程学院，广东 广州 510006；

2.瑞士意大利语区应用科学大学 创新技术系，瑞士 卢加诺 6928；3.阿奇夏米尔公司 瑞士 卢加诺 6928）

CCD传感器实时检测系统是一套基于光电检测技术的质量监测仪器，可用于实时观测和测量被加工工件，特别适合安装应用于微细电火花加工机床。此系统利用CCD（Charge-Couple Device）传感器对工件进行非接触式测量，提高了微细电火花加工机床的工作效率和质量。此文对这一系统进行讨论，分析了其特点和优越性。

CCD传感器；细微电火花加工机床；实时传感

目前，精密加工技术已经被广泛用于各个领域，如微米量级的机械零器件，微机电系统，生物医药器械，以及光电设备。与此同时，先进的检测技术也是精密加工过程中重要的一个环节[1]。为了控制被加工工件的精度，提高工作效率，通常微细电火花机床在加工完后会用电极丝触碰法进行检测采集数据，但这种方法会影响工件表面质量，仅适用于对加工表面粗糙度要求不高的情况。为了避免在测量过程中磨损工件表面，一般会使用非接触式检测设备，这就需要将工件取下后挪送到其他设备上采集所需数据，延长了加工时间[2-3]。……