张新焕，刘军霞，曹敏华

（中国电子科技集团公司第55研究所，南京 210016）

1 引言

随着电子技术的发展，电子整机系统的工作频率越来越高，半导体微波器件在各种领域的应用日益广泛，而在使用过程中出现的质量与可靠性问题也日益增多，失效现象时有发生，有些已经造成生产方和使用方的巨大经济损失，直接影响了整机系统的可靠性。为此，微波器件的可靠性越来越受到重视，用户和生产方对与其相关的失效分析技术的需求也越来越迫切。

2 可靠性与失效分析

可靠性一般用失效率（1/hour，1FIT=1/109hours）来表示。图1中曲线a为器件的典型失效率曲线。从图中可以看出，器件失效过程可分为三个阶段来描述，包括早期失效、偶然失效和疲劳失效。

研究和统计表明，器件失效率最高的时期发生在器件刚开始使用的早期失效阶段，有缺陷的、受污染的或处于临界状态的器件会在这个时期失效而暴露出来。这个阶段时间很短，有的器件仅几天就会失效，早早地便被淘汰。偶然失效期为元器件的正常工作阶段，也是元器件的寿命期限；不同类别的器件有着不同的偶然失效期，即有着不同的寿命。器件在经过偶然失效期的长期工作后，便会出现疲劳，此时器件便进入了疲劳失效期，其失效率会逐渐增高。图1中曲线b为器件的实际失效率曲线，从图中可以看到一个有趣的现象，就是某一器件使用越久，它的可靠性会越高。这是因为对器件而言，它的真正疲劳失效的寿命是非常长的，远长于器件工作装置的设计寿命。……